출원인

한국표준과학연구원

요약

미세 자기장을 검출하여 전류를 발생하는 권선형 검출코일과 도전성 코일연결패드에 각 단부가 접속된 입력코일이 구비된 박막 스퀴드를 포함하는 스퀴드 센서에 있어서, 상기 검출코일의 양단부와 상기 도전성 코일연결패드는 초전도 연결선을 통해 전기적으로 직접 접속되며, 상기 박막 스퀴드는 PDMS(polydimethylsiloxane)를 포함하는 코팅층을 포함하는 스퀴드 센서를 제공한다.